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美国 TREK(现隶属于 Advanced Energy)是全球高端静电测试仪器标杆品牌,主打非接触式、高精度、抗干扰、NIST 可溯源,广泛用于半导体、电子制造、LCD、ESD 防护等领域。以下为核心型号与完整资料:
品牌:美国 TREK(Advanced Energy 旗下),ESD 静电测量领域权威
核心优势:间距不敏感、电离环境无漂移、NIST 校准、高精度
对比 SIMCO FMX-004:TREK 更强调工业级稳定性、抗干扰、远距离 / 移动测量;FMX-004 侧重便携、快速现场巡检、离子平衡校准
520-1/520-2(±2kV)、523-1/523-2(±20kV)
测量范围:520:0~±2kV;523:0~±20kV
精度:优于满量程 **±5%**
间距:520:5–25mm;523:30–60mm(不要求固定距离)
分辨率:520:1V;523:10V
稳定性:时间漂移<600ppm/h;温度漂移<600ppm/℃
显示:3.5 位 LCD;520-2/523-2 带模拟输出(0–10V)
电源:9V 电池,续航约 8 小时;重量 200g
特点:斩波稳定,电离环境无漂移;NIST 校准证书
测量范围:10³–10¹³Ω(表面 / 体电阻)
测试电压:10V/100V 双档(符合 ANSI/ESD 标准)
精度:±2.5%–±5%
应用:防静电材料、工作台、地板、ESD 防护区检测
认证:ANSI/ESD STM2.1/4.1/7.1、IEC 61340-2-3
测量范围:0~±20kV
精度:±0.1%(工业级最高精度)
响应速度:<0.2ms(高速动态测量)
特点:场零位技术,移动 / 高速表面测量;无需固定间距
用途:半导体晶圆、薄膜、高速生产线在线监测
测量范围:±500V DC/AC 峰值
精度:±0.5%;响应 25ms
输出:4–20mA 电流环,远程监控 / 报警
安装:DIN 导轨,24V DC 供电
| 型号 | 量程 | 精度 | 间距要求 | 核心用途 |
|---|---|---|---|---|
| 520-1 | ±2kV | ±5% | 5–25mm(不固定) | 手持巡检、低电压场景 |
| 523-1 | ±20kV | ±5% | 30–60mm(不固定) | 手持巡检、高电压场景 |
| 152-1 | 10³–10¹³Ω | ±2.5%–5% | 接触式 | 防静电材料电阻测试 |
| 341B | ±20kV | ±0.1% | 无需固定 | 高速 / 移动表面、在线监测 |
| 875 | ±500V | ±0.5% | 无需固定 | 产线在线、远程监控 |
间距不敏感测量:克服传统仪表 “距离决定精度” 问题,宽范围稳定测量
斩波稳定技术:电离环境(离子风机旁)无漂移、无干扰
NIST 可溯源校准:每台出厂带校准证书,数据具备公信力
高稳定性:极低时间 / 温度漂移,适合长期监测
半导体 / 晶圆制造:晶圆表面电荷、离子风机平衡
LCD / 面板:玻璃基板、偏光片静电检测
电子组装:PCB、元器件、ESD 防护区巡检
薄膜 / 卷材:高速生产线在线静电监测
航空 / 军工:精密电子、复合材料静电防护
核心技术:间距不敏感、斩波稳定(电离环境无漂移)、NIST 可溯源。
520 系列(±2kV):520-1(数显)、520-2(数显 + 模拟输出)
523 系列(±20kV):523-1(数显)、523-2(数显 + 模拟输出)
706B 系列:高精度手持,替代老款 876/884
876/884 系列:经典老款,逐步被 520/523/706B 替代
核心技术:高速响应、场零位、超高精度、动态测量。
341B 系列:±20kV,精度 ±0.1%,响应 < 0.2ms(高速 / 移动表面)
344 系列:±2kV,精密非接触,实验室级
347 系列:±3kV,经济型精密测量
320C/323/325 系列:超高灵敏度(±40V/±100V),微电压测量
370 系列:精密非接触,宽量程、高稳定
541A/542A 系列:EOS/ESD 专用,抗干扰强
核心技术:4–20mA 输出、DIN 导轨、24V DC 供电、长期稳定。
875 系列:±500V,精度 ±0.5%,响应 25ms,产线在线监测
P0865 系列:高灵敏度、DC 稳定,精密探头
3250/3450/555P 系列:微型 / 嵌入式探头,高速响应(3ms 级)
核心技术:符合 ANSI/ESD、IEC 61340 标准。
152-1:表面 / 体积电阻测试仪,10³–10¹³Ω,10V/100V 双电压
156A:电荷板监测仪(CPM),离子风机平衡 / 放电时间测试
核心技术:高精度、低纹波、短路保护、软件可控Advanced Energy。
高压放大器:2100HF、2200、2340/2348、600 系列(601C/603/605A)、610E/615、645/646、PZD 系列(PZD350A/700A/2000A)
静电吸盘电源(E-Chuck):645 系列(0–±2kV)、软件驱动、半导体专用Advanced Energy
高压参考电源:10/40A-HS、10/10B-HS、5/80-HS、30/20A、40/15、50/12 等
压电驱动器:PD07016、PD05034 等,精密定位 / 驱动
DC-DC 转换器:高功率(最高 10kW)、低噪声、工业 / 医疗级Advanced Energy
| 类别 | 核心用途 | 代表型号 | 量程 / 精度 |
|---|---|---|---|
| 手持静电表 | 现场巡检、ESD 防护 | 520-1/2、523-1/2、706B | ±2kV/±20kV,±5% |
| 台式高精度表 | 研发、校准、动态测量 | 341B、344、370、320C | ±3kV–±20kV,±0.1% |
| 在线传感器 | 产线监控、远程报警 | 875、P0865、3250 | ±500V,±0.5% |
| 材料测试 | 防静电材料、离子风机 | 152-1、156A | 10³–10¹³Ω |
| 高压放大器 / 电源 | 半导体、科研、工业 | 2100HF、645、605A | 最高数十 kV |
现场巡检 / ESD 日常检测:选523-1/520-1(便携、间距不敏感)
实验室 / 高精度校准:选341B/344/370(高速、超高精度)
产线在线 / 远程监控:选875 系列(4–20mA 输出、长期稳定)
防静电材料 / 离子风机测试:选152-1/156A(符合 ESD 标准)
半导体 / 高压科研:选645(E-Chuck)/2100HF/605A(高压放大器 / 电源)